扩散硅压力传感器工作原理及使用注意事项
扩散硅压力传感器简介
扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。
扩散硅压力传感器的特点
1、适合制作小量程的传感器
硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。
2、输出灵敏度高
硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。
3、精度高
由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,了良好的线性。
4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能稳定,可靠性高。
5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。
6、由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。
扩散硅压力传感器工作原理
扩散硅压力传感器工作原理
扩散硅压力传感器的应用
扩散硅压力传感器主要应用于供热,制冷,化工,煤炭,石油,食品加工,供水等行业,可以这么说,凡是自动化要求比较高的的行业,等可能会用到扩散硅压力传感器。由于扩散硅传感器本身的特性,它不能用于高温和低温介质的测量。
扩散硅压力传感器在生活中为我们提供了很多的便利,工作原理也不难理解,应用范围很广泛,以上就是小编为大家介绍的扩散硅压力传感器工作原理及使用注意事项的内容,希望对大家有所帮助扩散硅压力传感器的应用
扩散硅压力传感器主要应用于供热,制冷,化工,煤炭,石油,食品加工,供水等行业,可以这么说,凡是自动化要求比较高的的行业,等可能会用到扩散硅压力传感器。由于扩散硅传感器本身的特性,它不能用于高温和低温介质的测量。
扩散硅压力传感器在生活中为我们提供了很多的便利,工作原理也不难理解,应用范围很广泛。
扩散硅压力传感器的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
扩散硅压力传感器使用注意事项
1、温度补偿,扩散硅式压力传感器是半导体,半导体具有很强的温度特性,没有温度补偿,测量误差可能会比较大。
2、扩散硅式压力传感器传感膜片只有几十丝米厚,千万不能触碰。
3、供电电压要稳定,传感器内部实际就是一个电桥,供电电压波动会引起桥路输出变化,影响测量精度。
4、要在额定电压内使用,过压会导致传感器损坏。
5、输出端不要短路。
安徽金岭自动化有限公司提供数字显示压力变送器2088小榔头变送器抗干扰卫生型压力变送器,包括扩散硅压力变送器的详细产品价格、产品图片等产品介绍信息。
安徽金岭自动化有限公司 3年
——— 认证资质 ———