深圳方达高精密硅片单面研磨/减薄设备加工可试样
适用于硅片,储片、砷化镓等晶体材料的减薄。
结构:
主要由真空吸盘、吸盘主轴、吸盘驱动伺服马达减速,磨轮,砂轮主轴、磨轮及伺服驱动马达、磨轮在线修整机构、磨轮进给机构、系统全闭环控制系统等。
1、磨轮直径380mm,磨轮采用CBN 砂轮,磨轮的粒度的选型是根据客户对工艺的要求定制。
2、磨轮主轴采用精密旋转主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC 控制系统支持的驱动模式而相应改变转速。
3、本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服全闭环控制系统驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是磨轮的进刀速度,控制进给精度由高分辨率光栅尺检测。
控制方式:
1、本机采用的国际品牌 PLC 和触摸屏,自动化程度高,实现人机界面,操作简单一目了然。
2、本机配有安全光栅光幕传感器,当砂轮、吸盘旋转时防止伤手,
3、操作门装有门开关,机器正常工作时不可开门,防止工件飞出伤人,
4、气压压力检测传感器,当气压小于设备设置的正常加工所需的小压力时设备报警,防止工件吸不牢,
5、冷却水流量传感器,当冷却水低于设备设置的正常加工所需的小压力时设备报警,防止工件表面磨削温度过高损坏工件,
6、伺服扭矩控制,当扭矩于设备设置的正常加工所产生的扭矩时设备报警,防止设备异常或者误操作时撞刀损坏机器配件,
7、砂轮电流控制,当冷砂轮设备设置的正常加工所产生的大电流时砂轮回弹,回弹距离可调,防止砂轮挤压工件造成损坏,
8、磨轮损耗量的自动补偿,防止因砂轮在磨削产品的同时产生的消耗影响工件的加工精度,
9、设备具有砂轮在线修整功能。
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