4155B精密半导体器件参数分析仪
Agilent4155B精密半导体器件参数分析仪/李娟
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Agilent 4155B是新一代精密半导体器件参数分析仪。
它拥有的数字扫描参数分析仪，
可靠的测试仪，强有力的故障，分析工具，自动检查设施；幸免综合至同参仪器中。
新产品的设计目标清楚地瞄准为亚微米几何尺寸器件评估提供前所未见的精度和功能。
它是一种可灵活使用的仪器，无疑对从材料评价至器件性牟的表征，乃至后封装等各
个阶段的部分检查和现场故障分析可提供诸多应用，以改进半导体器件的质量。
正确方案的抉择
Agilent 4155B设有四个内置源/监测单元（SMU），两个电压单元（VSU）
，两个电压监测单元（VMU），对于具有非开氏连接的基本半导体连接，
4155B可谓是选择，分辨为10fA/1μV测量范围为100mA/100V。
任何时候，均可增添41501B SMU和脉冲发生器扩展器。它由0V/1.6A接地单元馈送
可扩展接收两100mA/100V SMU或一个1A/200V SMU和两上同步40V/1μs脉冲发生器。
设定和测量
Agilent 4155B可使用许多测量单元，包括Agilent 41501B做阶梯，脉冲扫描测量，
采样（时域）测量，而无需变动连接。进而，对于可靠性评估还可做应力循环测量，
例如热载流子的注入和快速EEPROM测评。
备注：
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